等静压机
PTC LT14001D 温等静压机

PTC LT14001D 温等静压机,中大腔体,适配 6‑12 英寸巴块,最高压强 8000psi (55MPa),压强精度 50psi,可编程分段升降压。用于 LTCC HTCC 大板、陶瓷基板、中小型静电卡盘、探针卡、SOFC 电池片批量层压成型。

       PTC LT14001 温等静压机,升级大容积腔体,面向中大尺寸巴块量产,单次装载能力大幅提升,兼顾通用电子陶瓷与中小型半导体陶瓷零部件制造。基于帕斯卡流体静力学原理,以去离子水作为传压介质,密闭腔体内部全方向均匀施压,有利于大面积生坯获得相对均匀的致密度,帮助降低大尺寸坯体翘曲、分层的成型不良风险,已被多家陶瓷制造企业选用,整机适配连续量产工况,拥有多年陶瓷成型装备研发制造经验。

工作原理

与机械式单向压机不同,等静压把 "力" 交给水。工件进入密闭腔体后,水在四周同时施压,压力从各个方向等值作用于生坯,层与层之间不再承受剪切,也就有利于减少边缘致密、中心疏松的密度差。该压力作用方式,有利于改善烧结后的收缩一致性与层间结合状态,是该设备在多层陶瓷成型得到应用的重要原因。


应用领域:

通用电子陶瓷:LTCC 低温共烧陶瓷、HTCC 高温共烧陶瓷大板、MLCC、PZT 压电陶瓷、MLCI 电感、SOFC/SOEC 电池片;

半导体陶瓷零部件:中小型静电卡盘 ESC、中小尺寸探针卡、陶瓷加热器基板;

超大尺寸半导体零部件,巴块超过 12 英寸,建议选用 LT20001 机型。

设备特点:

大腔体容积,支持 6‑12 英寸巴块,单次装料多,提升批次产能;

压力温度控制稳定,压强精度 ±50psi,温度精度 ±2℃,大面积腔体温度均匀性优异;

可编程分段升降压,可复刻小机型成熟工艺曲线,方便工艺放大;

整机结构紧凑,优化占地;人机界面简洁,配方存储调用便捷;

近 40 年行业技术积累,满足中大尺寸陶瓷连续量产稳定性。


基本参数:

项目参数
型号LT14001D
最大压强8000psi(55MPa)
压强精度±50psi
最高温度85℃(可选配至 93℃)
温度精度±2℃
腔体尺寸 (WDH)152*355*600mm
适用巴块尺寸6"~12"
外形尺寸 (WDH)1072*1160*1885mm
电源380VAC 三相
气源100PSI(0.7Mpa)
水源纯净水 / 去离子水


选型对比指引

  • ≤10 英寸量产:LT12001D;
  • 6‑12 英寸中大尺寸:LT14001D;
  • >12 英寸大尺寸半导体零部件,切换 LT20001D


常见 FAQ

Q:小设备的工艺曲线可以直接迁移到 LT14001D吗?

A:基础压力温度参数可以参考,大腔体升温升压速率需要做小幅工艺验证。

Q:可以同时放多个巴块进行层压吗?

A:可以,只要在腔体空间范围内,要保证压力介质可以环绕工件四周

Q:腔体内部可以进行分隔吗?

A:可以,有效腔体有600mm高,可以隔3层(满足6"生产)或者2层(满足8"生产)




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PTC LT14001 等静压机规格书V2.4.pdf


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