膜厚测量仪EA-160

EA-160是一款全自动非接触式表面测量仪。利用光谱共焦原理，EA-160可用于膜厚线宽测量、微观尺寸测量、高度差测量、平面度测量、共面度测量、粗糙度测量等，也可对透明半透明材质进行多层尺寸测量。高精度、高速测量，结合强大易用的软件，EA-160膜厚测试仪被广泛应用于微电子、半导体、5G、3D玻璃、新型医疗、精密工业制造等领域。

应用领域：

HTCC膜厚线宽测量、LTCC膜厚线宽测量、SOFC印刷厚度测试、厚膜电路测量、晶圆涂胶测量、MEMS测量、SENSOR测量、太阳能硅片测量、芯片形貌测量、透明材质测量、环氧树脂测量、印刷图形测量、激光镭雕测量、Wafer槽深测量、断差测量、Lens测量、油墨厚度测量、蓝宝石厚度测量、曲面镜片测量

特点：

高速度、高精度自动测量系统

最大160mm*160mm 范围测量

透明材质穿透测量

测量膜厚、线宽、平面度等

多程序自由切换，方便灵活

基本参数：

设备品名	全自动非接触膜厚测试仪
设备型号	EA-160
XY测量行程	160*160mm
Z轴可调行程	50mm
扫描最小步距	1um
最大扫描速度	30mm/s
陶瓷检测重复精度	±0.5μm
Z向分辨率	1nm
横线分辨率	0.1um
光栅尺分辨率	0.01um
量程	1200um
测试方式	可编程自动测量
MARK类型	圆形、方形、十字、菱形、多边形、不规则图形
载物平台	微孔陶瓷真空吸附平台
膜厚测试	支持
线宽测试	支持
粗糙度测试	支持
透明材料自动测厚	支持
孔深、刻槽深度测试	支持
测量原理	光谱共焦
CCD视觉	500万
红外激光对准器	标配
数据输出	Excel、CSV格式、JPG格式
数据分析	CPK
数据统计	平均值，最大值，最小值，极差，标准差，CP，CPK，良率，总数
数据接口	串口协议、网口协议
接口类型	RS485、RS232、RJ45
数据存储	存储位置任意指定
数据回测	任意节点数据回测
MES信息化系统	支持
设备日志	具备
操作系统	WIN10
校验标准块规	标配
三角块规	标配
外观尺寸	950650500mm
电源	AC220V±10%,50-60Hz
气源压缩空气	0.3~0.7Mpa或真空气源
重量	250KG
工控主机	内存8G、固态硬盘480G、显示器23.8“、分辨率19201080，高速千兆网口PCI2

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